Ein Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter ist eine hochpräzise Vakuumspannvorrichtung aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃). Es nutzt eine gleichmäßige Porenstruktur oder Mikro-Vakuumkanäle, um einen stabilen Unterdruck zu erzeugen und dünne, empfindliche Werkstücke wie Wafer, Glas und Folien sicher und spannungsfrei zu fixieren.Kernmaterial & Eigenschaften ● Material: Hochreine 99% Al₂O₃ Aluminiumoxidkeramik (porös oder dicht) ● Mechanische Eigenschaften: Hohe Härte, Kratzfestigkeit, geringe Verformung, ausgezeichnete Steifigkeit ● Thermische Eigenschaften: Hohe Hitzebeständigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit, stabil bei Hochtemperaturprozessen ● Chemische Eigenschaften: Hervorragende Korrosionsbeständigkeit, elektrische Isolation, keine Verunreinigungen ● Strukturell: Eine gleichmäßige Porosität gewährleistet eine konsistente Vakuumverteilung über die gesamte Oberfläche
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