Aluminiumoxid-Keramik-Vakuumplatte

Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter (Al₂O₃-Vakuumspannfutter)

Grundlegende Einführung

Ein Aluminiumoxid-Vakuumspannfutter ist eine hochpräzise Vakuumspannvorrichtung aus hochreinem Aluminiumoxid (Al₂O₃). Es nutzt eine gleichmäßige Porenstruktur oder Mikro-Vakuumkanäle, um einen stabilen Unterdruck zu erzeugen und dünne, empfindliche Werkstücke wie Wafer, Glas und Folien sicher und spannungsfrei zu fixieren.

Kernmaterial & Eigenschaften

• Material: Hochreine 99% Al₂O₃-Keramik (porös oder dicht)

• Mechanische Eigenschaften: Hohe Härte, Kratzfestigkeit, geringe Verformung, ausgezeichnete Steifigkeit

• Thermisch: Hohe Hitzebeständigkeit, gute Wärmeleitfähigkeit, stabil bei Hochtemperaturprozessen

• Chemisch: Hervorragende Korrosionsbeständigkeit, elektrische Isolierung, keine Verunreinigungen

• Strukturell: Eine gleichmäßige Porosität gewährleistet eine konsistente Vakuumverteilung über die gesamte Oberfläche

Hauptmerkmale

• Funktioniert sowohl in atmosphärischen als auch in Hochvakuumumgebungen

• Adsorbiert Leiter, Halbleiter, Isolatoren und poröse Materialien

• Gleichmäßige Adsorptionskraft, keine Verformung oder lokale Spannungen bei dünnen Werkstücken

• Schnelles Ein- und Ausschalten, keine Restspannung, verhindert Staubanziehung

• Hohe Oberflächenebenheit, geeignet für die Ultrapräzisionsbearbeitung

Hauptanwendungen

• Halbleiter: Waferlithografie, Ätzen, Polieren und Testen

• Display: Handhabung großer/ultradünner Glassubstrate

• Photovoltaik: Schneiden und Testen von Siliziumwafern

• Präzisionsoptik: Bearbeitung von Linsen und optischen Komponenten

Produktarten

• Poröser Aluminiumoxid-Schaft: Mikroporöse Struktur für schonende, gleichmäßige Adsorption

• Schwarzes Aluminiumoxid-Spannfutter: Reduziert Lichtreflexionen bei der Fotolithografie

• Dicht dichtes Aluminiumoxid-Spannfutter: Hohe Steifigkeit für hochpräzise Schwerlast-Spannung

Yixing Shenxing Technology Co., Ltd.

Telefon/WeChat/WhatsApp: 008618018373518

E-Mail: yxshenxing88@vip.163.com

Teams: Siri Shenxing Ceramic